M20系列微小气体质量流量计
型号：M20
产品分类：流量
产品特点：气体,小流量,精度高,体积小,数字化产品 ,多参数显示和输出：温度、压力、流量等 , 可选高精度：可优于 0.5% , 可测范围广，0.01 ~ 100% 满量程 , 响应时间快，优于 10 ms , 内置 98 种气体 , 可现场标定混合气体（最多 5 种成分），并存储 20 种混合气
介质要求 : 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 : 内置 98 种气体，请参考背面一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 : 从 0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（详情请咨询）
测量范围： 0.01 ～ 100% 满量程
最大显示流量 ： 128% 满量程
显 示 屏： 带按键，标准为 LCD 显示屏，可选 TFT 彩色显示屏
显示方式 ： 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ： ± （0.8 % 读数 + 0.2 % 满量程） 精度升级部分见左下± （0.4 % 读数 + 0.2 % 满量程）（可选）累计流量精度 流量精度之外增加 ± 0.5 % 额外误差
重 复 性： ± （0.2 % 读数 +0.02 % 满量程）
最大工作压力： 1 MPa 表压（可选 2 MPaG 高压系列）
最低操作压力 ： 如果不做真空特殊标定，建议在绝压 80 KPaA 以上使用；其他真空压力建议做特殊标定
压力精度： ±0.5 % 读数（读数＞ 1Atm），或 ±0.07 PSIA（＜ 1Atm）
最大进出口压差 ： 0.5 MPa
数据刷新频率： 数字信号 40 Hz @ 19200 波特率；模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率 ： 10 Hz
数字输入 / 输出信号 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232 / RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模拟输入 / 输出信号： 0 - 5 VDC、1 - 5 VDC、0 - 10 VDC、4 - 20 mA
可选第二路模拟输出 ： 质量流量、体积流量、压力、温度
模拟信号精度 在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 量程误差
供电电压：7 - 30 VDC （如选 4 - 20 mA 输出，须为 15 - 30 VDC）
供电电流：40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）
输出接口：DB9，可选 DB15、6 针工业接头、8 针 Mini-DIN